• 4-叔丁基苯基-1,4-氧硫杂环己烷硫鎓1-(5,5,6,6-四氟螺[1,3-二氧杂环庚烷-2,2'-金刚烷基]) 二氟磺基乙酸酯盐 CAS 1371590-55-4
4-叔丁基苯基-1,4-氧硫杂环己烷硫鎓1-(5,5,6,6-四氟螺[1,3-二氧杂环庚烷-2,2'-金刚烷基]) 二氟磺基乙酸酯盐 CAS 1371590-55-4
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产品描述

4-叔丁基苯基-1,4-氧硫杂环己烷硫鎓1-(5,5,6,6-四氟螺[1,3-二氧杂环庚烷-2,2'-金刚烷基]) 二氟磺基乙酸酯盐 CAS 1371590-55-4(本款电子化学品可以按您的需求定制金属杂质指标,我们接受定制)

1. 核心应用:193nm ArF 干法 / 浸没式光刻胶、EUV 极紫外光刻胶专用光致产酸剂(PAG),属于硫鎓盐类阳离子 PAG,分子中的脂环含氟长链结构赋予其低酸扩散、高感光灵敏度、低挥发的特点,同时具备优异的抗干法刻蚀性能,是高端化学增幅光刻胶的核心感光组分;

2. 适用于 14nm 及以下先进制程的 ArF 浸没光刻胶、7nm 以下 EUV 极紫外光刻胶,可大幅降低线宽粗糙度(LWR),提升图形分辨率与工艺窗口,适配逻辑芯片、DRAM/NAND 闪存等高端半导体晶圆光刻制程;

3. 193nm 浸没光刻顶层抗水涂层(Topcoat)用 PAG,可实现涂层与光刻胶的同步曝光显影,无残留缺陷,提升晶圆良率;

4. 特种阳离子光固化体系的光引发剂,用于精密光学微纳结构、纳米压印光刻胶的光固化反应

指标:氟谱纯度 99%以上,金属离子单一<50ppb,酸值 0

避光、阴凉处密闭保存

江苏聚铭化工科技有限公司成立于2017年11月,已深耕化工领域多年。位于江苏省江阴市。生产基地位于中国的山东省、河北省、河南省、湖北省,化验室配备有精密化验室配备气相色谱仪4台和液相色谱仪8台。主要生产销售电子级化学品、水处理剂、紫外线吸收剂、农药医药中间体等精细化工产品,畅销到欧、美、日韩等多个国家和地区。核心产品有5-甲基苯并三氮唑年产2000吨、1,2,3-苯并三氮唑(BTA)年产3000吨/年、苯并三氮唑钠盐(BTA-Na)年产2000吨/年、甲基苯并三氮唑(TTA)产能3000吨/年、甲基苯并三氮唑钠盐(TTA-Na)产能2000吨/年、卡巴肼(碳酰肼)产能2000吨/年、二苯甲酮(BP)2000吨/年等,广泛用于水处理方面、化工中间体、农药、医药、紫外线吸收剂、肥料、印染、防火材料阻燃剂以及镁盐的制造等。我们有 ISO9001认证、SGS认证、CMA检测资质。
公司成立至今,赢得了众多客户朋友的认可,并口碑相传。聚铭人将与广大社会同仁精诚合作、共创辉煌!
 

4-叔丁基苯基-1,4-氧硫杂环己烷硫鎓1-(5,5,6,6-四氟螺[1,3-二氧杂环庚烷-2,2'-金刚烷基]) 二氟磺基乙酸酯盐 CAS 1371590-55-4

我们的主要产品有电子化学品、水处理剂、紫外线吸收剂、光引发剂、农药中间体、其他化工原料六大系列百余个品种。我们的产品种类繁多,包括农药、除草剂、杀菌剂、杀螨剂、植物生长调节剂等农化产品。

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4-叔丁基苯基-1,4-氧硫杂环己烷硫鎓1-(5,5,6,6-四氟螺[1,3-二氧杂环庚烷-2,2'-金刚烷基]) 二氟磺基乙酸酯盐 CAS 1371590-55-4(本款电子化学品可以按您的需求定制金属杂质指标,我们接受定制)

1. 核心应用:193nm ArF 干法 / 浸没式光刻胶、EUV 极紫外光刻胶专用光致产酸剂(PAG),属于硫鎓盐类阳离子 PAG,分子中的脂环含氟长链结构赋予其低酸扩散、高感光灵敏度、低挥发的特点,同时具备优异的抗干法刻蚀性能,是高端化学增幅光刻胶的核心感光组分;

2. 适用于 14nm 及以下先进制程的 ArF 浸没光刻胶、7nm 以下 EUV 极紫外光刻胶,可大幅降低线宽粗糙度(LWR),提升图形分辨率与工艺窗口,适配逻辑芯片、DRAM/NAND 闪存等高端半导体晶圆光刻制程;

3. 193nm 浸没光刻顶层抗水涂层(Topcoat)用 PAG,可实现涂层与光刻胶的同步曝光显影,无残留缺陷,提升晶圆良率;

4. 特种阳离子光固化体系的光引发剂,用于精密光学微纳结构、纳米压印光刻胶的光固化反应

指标:氟谱纯度 99%以上,金属离子单一<50ppb,酸值 0

避光、阴凉处密闭保存

江苏聚铭化工科技有限公司成立于2017年11月,已深耕化工领域多年。位于江苏省江阴市。生产基地位于中国的山东省、河北省、河南省、湖北省,化验室配备有精密化验室配备气相色谱仪4台和液相色谱仪8台。主要生产销售电子级化学品、水处理剂、紫外线吸收剂、农药医药中间体等精细化工产品,畅销到欧、美、日韩等多个国家和地区。核心产品有5-甲基苯并三氮唑年产2000吨、1,2,3-苯并三氮唑(BTA)年产3000吨/年、苯并三氮唑钠盐(BTA-Na)年产2000吨/年、甲基苯并三氮唑(TTA)产能3000吨/年、甲基苯并三氮唑钠盐(TTA-Na)产能2000吨/年、卡巴肼(碳酰肼)产能2000吨/年、二苯甲酮(BP)2000吨/年等,广泛用于水处理方面、化工中间体、农药、医药、紫外线吸收剂、肥料、印染、防火材料阻燃剂以及镁盐的制造等。我们有 ISO9001认证、SGS认证、CMA检测资质。
公司成立至今,赢得了众多客户朋友的认可,并口碑相传。聚铭人将与广大社会同仁精诚合作、共创辉煌!
 

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