• 硅酸四甲基铵CAS 53116-81-7
硅酸四甲基铵CAS 53116-81-7
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产品描述

中文名称:硅酸四甲基铵

英文名称:Tetramethylammonium silicate

分子式:C16H48N4O4Si

供应形式:通常为15-20%的水溶液

作用机理与应用: 该产品是一种极高纯度的、不含金属离子的可溶性硅酸盐来源。

/铜防腐蚀剂:在清洗铝(Al)或铜(Cu)互连线时,强碱性的清洗液容易腐蚀金属。添加硅酸四甲基铵后,硅酸根离子会优先吸附在金属表面形成一层极薄的保护膜,抑制腐蚀,而四甲基铵阳离子则维持溶液的碱性以去除光刻胶残留。

层间介质沉积前驱体:作为一种非金属硅源,它也可用于特定的化学气相沉积(CVD)或旋涂绝缘层工艺,用于制备高纯度的二氧化硅薄膜,避免了传统硅酸钠带来的钠离子污染风险。

市场门槛:该产品的核心竞争力在于对金属杂质(ppb级别)和颗粒物的控制能力。我们的产品经过特殊的离子交换与过滤工艺,完全满足半导体级试剂的严苛标准    

应用领域背景:

行业背景:原子级的洁净度挑战

在半导体制造过程中,晶圆清洗步骤占据了总工序的30%以上。随着制程微缩,微小的金属离子污染(如钠、钾、铁)都可能导致晶体管漏电或击穿。传统的无机碱(如NaOH/KOH)因含有金属离子而被严禁用于先进制程,取而代之的是四甲基氢氧化铵(TMAH)等有机碱体系。

硅酸四甲基铵CAS 53116-81-7

我们的主要产品有光引发剂、紫外线吸收剂、水处理剂、农药中间体、其他化工原料六大系列百余个品种。我们的产品种类繁多,包括农药、除草剂、杀菌剂、杀螨剂、植物生长调节剂等农化产品。

产品描述


中文名称:硅酸四甲基铵

英文名称:Tetramethylammonium silicate

分子式:C16H48N4O4Si

供应形式:通常为15-20%的水溶液

作用机理与应用: 该产品是一种极高纯度的、不含金属离子的可溶性硅酸盐来源。

/铜防腐蚀剂:在清洗铝(Al)或铜(Cu)互连线时,强碱性的清洗液容易腐蚀金属。添加硅酸四甲基铵后,硅酸根离子会优先吸附在金属表面形成一层极薄的保护膜,抑制腐蚀,而四甲基铵阳离子则维持溶液的碱性以去除光刻胶残留。

层间介质沉积前驱体:作为一种非金属硅源,它也可用于特定的化学气相沉积(CVD)或旋涂绝缘层工艺,用于制备高纯度的二氧化硅薄膜,避免了传统硅酸钠带来的钠离子污染风险。

市场门槛:该产品的核心竞争力在于对金属杂质(ppb级别)和颗粒物的控制能力。我们的产品经过特殊的离子交换与过滤工艺,完全满足半导体级试剂的严苛标准    

应用领域背景:

行业背景:原子级的洁净度挑战

在半导体制造过程中,晶圆清洗步骤占据了总工序的30%以上。随着制程微缩,微小的金属离子污染(如钠、钾、铁)都可能导致晶体管漏电或击穿。传统的无机碱(如NaOH/KOH)因含有金属离子而被严禁用于先进制程,取而代之的是四甲基氢氧化铵(TMAH)等有机碱体系。

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